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Surface-hardening effect of B implantation in 6H-SiC ceramics https://journal.hep.com.cn/foms/EN/10.1007/s11706-009-0041-0
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Surface-hardening effect of B implantation in 6H-SiC ceramics https://journal.hep.com.cn/foms/EN/10.1007/s11706-009-0041-0
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