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Wafer curvature analysis in 3C-SiC layers grown on (0 0 1) and (1 1 1) Si substrates https://eprints.soton.ac.uk/186193/
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Wafer curvature analysis in 3C-SiC layers grown on (0 0 1) and (1 1 1) Si substrates https://eprints.soton.ac.uk/186193/
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